


性能特點
1)X4DIC系列為最新型FPD檢查顯微鏡,專為LCD行業(yè) / TFT玻璃 / COG導電粒子壓痕、粒子爆破檢查
2)X4DIC系列機型采用4寸、6寸平臺設計,可適用于相應尺寸的晶圓或小尺寸樣品的金相檢查
3)X4DIC系列,其微分干涉效果可與進口品牌相媲美
4)X4DIC系列機型采用全新設計的長工作距物鏡、半復消色差技術,多層寬帶鍍膜技術,采用長壽命LED光源
5)多種高度功能化的附件,能滿足各種檢驗需要,可用于明場、簡易偏光、微分干涉觀察 



主要技術規(guī)格:
★ 無限遠色差校正光學系統(tǒng)(CSIS)
★ 高眼點大視野平場目鏡PL10X/22mm,(可選:PL10X22R、PL15X16)
★ 無限遠鉸鏈三通觀察筒,30°傾斜
(可選:無限遠正像鉸鏈三通觀察筒,25°傾斜)
★ 無限遠長工作距平場消色差金相物鏡(標配)
LMPL 5X/0.15 WD10.8mm LMPL 10X/0.3 WD10mm
LMPL 20X/0.45 WD4mm LMPL 50X/0.55 WD7.8mm
LMPL 100X/0.80 WD2.1mm
(可選:DIC專用物鏡、OLYMPUS無限遠明場物鏡)
★ 1/2CTV攝像接口(0.5X),C接口,可調焦
(可選:1XCTV攝像接口(1X),C接口,可調焦)
★ 內定位5孔轉換器,帶DIC插槽
★ 反射式機架,前置低手位粗微同軸調焦機構。粗調行程30mm,微調精度0.001mm。帶有防止下滑的調節(jié)松緊裝置和防止打壞切片、快速聚焦的隨機上限位裝置
(可選:透反兩用機架,內置5W LED透射光照明系統(tǒng),上下光可獨立控制)
★ 反(落)射照明器,柯拉照明系統(tǒng),帶視場光闌與孔徑光闌,中心可調;帶斜照明裝置;90-240V寬電壓,單顆3W LED 6500K,亮度可調
★ 4英寸雙層機械平臺,低手位X、Y方向同軸調節(jié);平臺面積230×215mm,行程105×105mm;金屬載物臺板。(另有透反兩用平臺)
(可選:6英寸三層機械移動平臺,平臺面積445×240mm,行程158×158mm;帶快速移動裝置;玻璃載物臺板,透反兩用平臺)
★ 可選配藍色、綠色、紅色干涉濾光片
★ 360度旋轉式檢偏鏡插板、Φ30起偏鏡插板
★ 可選配標準微分干涉(DIC)裝置、OLYMPUS微分干涉(DIC)裝置
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